Vacuümcoating – De bestaande kristalcoatingmethode
Productomschrijving
De bestaande kristalcoatingmethode omvat: het verdelen van een groot kristal in middelgrote kristallen van gelijke oppervlakte, het vervolgens stapelen van een meervoud aan middelgrote kristallen en het verbinden van twee aangrenzende middelgrote kristallen met lijm; het opnieuw verdelen in meerdere groepen van op elkaar gestapelde kleine kristallen van gelijke oppervlakte; het nemen van een stapel kleine kristallen en het polijsten van de buitenste zijkanten van de meerdere kleine kristallen om kleine kristallen met een ronde doorsnede te verkrijgen; het scheiden; het nemen van een van de kleine kristallen en het aanbrengen van beschermende lijm op de omtrekszijwanden van de kleine kristallen; het coaten van de voor- en/of achterkant van de kleine kristallen; het verwijderen van de beschermende lijm op de omtrekszijden van de kleine kristallen om het eindproduct te verkrijgen.
De bestaande kristalcoatingverwerkingsmethode moet de omtrekwand van de wafer beschermen. Bij kleine wafers is het gemakkelijk om de boven- en onderkant te vervuilen bij het aanbrengen van lijm, wat de bewerking niet eenvoudig maakt. Na het aanbrengen van de voor- en achterkant van het kristal moet de beschermende lijm worden afgewassen en zijn de bewerkingsstappen omslachtig.
Methoden
Het coatingproces van het kristal omvat:
●Langs de vooraf ingestelde snijcontour wordt met behulp van een laser vanaf het bovenoppervlak van het substraat een aangepaste snijbewerking in het substraat uitgevoerd om het eerste tussenproduct te verkrijgen;
●Het coaten van het bovenoppervlak en/of het onderoppervlak van het eerste tussenproduct om een tweede tussenproduct te verkrijgen;
●Langs de vooraf ingestelde snijcontour wordt het bovenoppervlak van het tweede tussenproduct met een laser gegraveerd en gesneden en wordt de wafer gespleten, zodat het doelproduct van het restmateriaal wordt gescheiden.
